STEM 이미징 모드 (BF, HAADF, Z-contrast, 이미지 해석)
BF, ADF, HAADF라는 세 가지 이미징 모드는 단순히 밝기를 조절하는 기능이 아니라, 서로 완전히 다른 전자 신호를 포착하는 방식입니다. 같은 시료를 두고도 어떤 모드를 쓰느냐에 따라 구조가 전혀 다르게 나타날 수 있다는 점, 제가 현미경 앞에서 가장 먼저 체감한 사실입니다.BF 이미징, 투과빔이 그리는 시료의 윤곽전자현미경을 처음 배울 때 가장 먼저 접하는 모드가 BF, 즉 명시야(Bright-Field) 이미징입니다. 여기서 BF란 전자빔이 시료를 통과한 뒤 산란되지 않고 그대로 직진한 투과빔을 검출기가 수집하여 이미지를 형성하는 방식을 의미합니다. 시료가 얇거나 전자를 거의 산란시키지 않는 영역은 투과빔이 충분히 도달해 밝게 나타나고, 두껍거나 밀도가 높은 영역은 전자가 많이 산란되어 어둡게..
2026. 10. 23.
FIB, TEM시편준비, 집속이온빔, 전자현미경, FIB-SEM, 반도체분석, 라멜라
반도체 소자 분석 업무를 처음 접했을 때, 저는 장비 스펙이 좋으면 좋은 이미지는 자동으로 따라온다고 생각했습니다. 그런데 실제로 현장에서 TEM 분석을 진행해보니 결과물의 품질을 가르는 건 장비 성능이 아니라 시편이 얼마나 잘 준비되어 있는가였습니다. 그 핵심에 FIB(Focused Ion Beam, 집속 이온빔) 기술이 있었고, 저는 그때부터 이 기술을 본격적으로 파고들기 시작했습니다.FIB의 원리와 시편 제작 단계FIB(Focused Ion Beam)란 갈륨(Ga) 이온을 고진공 속에서 전기장으로 가속한 뒤 렌즈로 집속시켜 시료 표면에 조사하는 기술입니다. 쉽게 말해, 눈에 보이지 않는 이온 빔을 아주 좁은 점으로 모아 재료 표면을 나노미터 수준으로 깎아내는 정밀 절삭 도구라고 이해하면 됩니다. 이..
2026. 10. 21.
