투과전자현미경2 TEM 전자빔 손상 (손상 메커니즘, 손상 저감, 분석 신뢰성) 선명한 이미지를 얻었다고 해서 그게 시료의 진짜 구조일까요? 그런데 같은 영역을 반복해서 관찰하다 보니 처음에는 분명히 보이던 미세구조가 조금씩 흐려지고, 대비가 달라지는 걸 경험했습니다. 초점 문제인가 싶어 다시 맞춰봐도 달라지지 않았고, 그제서야 전자빔 자체가 시료를 바꾸고 있다는 사실을 받아들이게 됐습니다.손상 메커니즘: 전자빔이 시료를 어떻게 바꾸는가일반적으로 TEM에서 가속전압만 낮추면 시료 손상이 해결된다고 알려져 있는데, 제 경험상 이건 절반만 맞는 이야기입니다. 전자빔에 의한 손상에는 크게 두 가지 메커니즘이 작동하고 있고, 어느 쪽이 우세한지는 시료 종류와 조사 조건에 따라 완전히 달라지기 때문입니다.첫 번째는 녹-온 손상(knock-on damage)입니다. 여기서 knock-on da.. 2026. 10. 23. SEM vs TEM (작동원리, 신호분석, 장비선택) SEM과 TEM은 둘 다 전자빔을 쓴다는 점에서 비슷해 보이지만, 실제 분석 현장에서 접해보면 얻을 수 있는 정보의 종류 자체가 완전히 다릅니다. 저도 처음엔 "배율이 더 높은 게 더 좋은 장비 아닌가"라고 단순하게 생각했습니다. 그런데 막상 두 장비를 번갈아 쓰다 보니, 같은 시료를 놓고도 어떤 질문을 던지느냐에 따라 선택해야 할 장비가 완전히 달라진다는 걸 몸으로 익히게 됐습니다.작동원리 — 전자빔이 시료를 만나는 방식의 차이SEM, 즉 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)은 가늘게 수렴된 전자빔을 시료 표면 위에서 래스터 방식으로 훑으며 영상을 만들어 냅니다. 여기서 래스터 방식이란 TV 화면처럼 가로줄을 차례차례 스캔해 전체 이미지를 구성하는 방식을 말합니다. 전자빔.. 2026. 10. 17. 이전 1 다음
