EDS분석3 STEM-EDS 맵핑 (측정 오차, 원소 분포, 정량 해석) STEM-EDS 원소 맵에서 밝게 나타나는 영역이 반드시 해당 원소의 농도가 높은 곳이라고 볼 수 없습니다. 제가 처음 반도체 단면 시료를 분석했을 때 이 사실을 몰랐고, 그 결과 꽤 황당한 해석을 내놓을 뻔했습니다. 원소 맵은 강력한 도구이지만, 맵이 만들어지는 과정에서 생기는 오차를 이해하지 못하면 이미지가 주는 직관에 속기 쉽습니다.측정 오차: 맵이 실제와 달라지는 이유STEM-EDS 맵에서 원소 신호가 실제 위치보다 넓게 퍼져 보이는 현상을 X선 비국재화(X-ray delocalization)라고 부릅니다. 여기서 비국재화란, 전자빔이 특정 원자 위치에 집중되더라도 발생한 X선이 인접 영역에서 검출되는 것처럼 나타나는 현상입니다. 쉽게 말해, 빔은 한 점에 맞았는데 신호는 그 주변까지 번져 나오는.. 2026. 10. 28. EDS 분석 오류 (인공 피크, 피크 겹침, 원소 판정) EDS 스펙트럼에 예상치 못한 피크가 떴을 때, 저도 처음엔 "시료에 이 원소가 있었나?" 하고 당황했습니다. 그런데 알고 보니 Escape peak나 Sum peak처럼 원소 신호가 아닌 인공 피크(artifact peak)였던 경우가 적지 않았습니다. 소프트웨어가 자동으로 표시해준 원소 목록을 그대로 믿었다가 분석 방향을 잘못 잡을 뻔한 경험, 저만 있는 게 아닐 겁니다.스펙트럼에 나타난 피크, 전부 원소 신호가 아닙니다일반적으로 EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, 에너지 분산형 X선 분광법) 스펙트럼에서 피크 하나가 뚜렷하게 나타나면 해당 에너지 위치에 대응하는 원소가 시료에 존재한다고 생각하기 쉽습니다. 여기서 EDS란 전자빔을 시료에 조사했을 때 방출되는 .. 2026. 10. 27. EDS 분석 (원소 식별, 정량분석, 피크 중첩) 스펙트럼에 피크가 떴다고 그 원소가 거기 있는 게 맞을까요? 처음 EDS를 쓸 때 저도 당연히 그렇다고 생각했습니다. 소프트웨어가 원소 이름을 알아서 붙여주니까요. 그런데 막상 결과를 들여다보다 보면, 분석 소프트웨어가 틀리는 순간을 맞닥뜨리게 됩니다. 그 경험이 EDS를 제대로 이해하게 된 출발점이었습니다.원소 식별: 피크 하나만 보면 안 되는 이유에너지분산형분광법(EDS, Energy Dispersive Spectrometry)은 전자빔이 시료에 닿을 때 방출되는 특성 X선(characteristic X-ray)의 에너지를 측정해 원소를 식별하는 기법입니다. 여기서 특성 X선이란 각 원소마다 고유한 에너지 값을 갖는 X선으로, 이 에너지 위치를 스펙트럼에서 확인하면 어떤 원소가 있는지 알 수 있습니다.. 2026. 10. 21. 이전 1 다음
