BF / DF / HAADF 이미지는 어떻게 다를까
(Bright Field, Dark Field, HAADF, STEM 이미지 해석)STEM 이미지를 처음 보면 같은 시료인데도 BF, DF, HAADF 이미지가 전혀 다른 모습으로 나타나는 경우가 많다. 밝고 어두운 영역이 뒤바뀌기도 하고, 어떤 이미지에서는 보이던 구조가 다른 이미지에서는 거의 보이지 않기도 한다. 이는 장비 문제나 세팅 오류가 아니라, 각 이미징 모드가 서로 다른 전자 신호를 선택적으로 수집하기 때문이다. 이 글에서는 BF, DF, HAADF 이미지가 각각 무엇을 의미하며, 왜 서로 다르게 보이는지를 해석 관점에서 정리해 본다.BF (Bright Field) 이미지의 의미BF 이미지는 시료를 통과한 전자 중 산란되지 않았거나 아주 작은 각도로 산란된 전자를 이용해 형성된 이미지다. 전..
2025. 12. 24.
FIB란 무엇인가 – 단면 제작부터 TEM 시편 준비까지
재료 단면을 보고 싶을 때, 기계 연마로는 도저히 원하는 위치를 정확히 맞추기 어렵거나, 수 μm 단위의 박막 구조를 그대로 보존해야 하는 상황이 많습니다. 반도체 소자, 박막 코팅, 배터리 전극, 미세 결함 분석처럼 “딱 그 지점”을 잘라서 단면을 보고 싶을 때 사용하는 대표적인 장비가 바로 FIB(Focused Ion Beam)입니다.FIB는 고에너지 이온빔을 매우 가늘게 집속 하여 시료를 깎아내고, 원하는 위치에 단면을 만들거나 TEM용 초박 시편(lamella)을 정밀하게 가공하는 장비입니다. 이 글에서는 FIB의 기본 원리, 장비 구성, SEM 단면 제작 과정, TEM 시편 준비 과정, 그리고 실무에서 자주 마주치는 포인트와 주의사항을 정리하여 FIB를 처음 접하는 분들도 흐름을 이해할 수 있도..
2025. 12. 21.
