FIB, TEM시편준비, 집속이온빔, 전자현미경, FIB-SEM, 반도체분석, 라멜라
반도체 소자 분석 업무를 처음 접했을 때, 저는 장비 스펙이 좋으면 좋은 이미지는 자동으로 따라온다고 생각했습니다. 그런데 실제로 현장에서 TEM 분석을 진행해보니 결과물의 품질을 가르는 건 장비 성능이 아니라 시편이 얼마나 잘 준비되어 있는가였습니다. 그 핵심에 FIB(Focused Ion Beam, 집속 이온빔) 기술이 있었고, 저는 그때부터 이 기술을 본격적으로 파고들기 시작했습니다.FIB의 원리와 시편 제작 단계FIB(Focused Ion Beam)란 갈륨(Ga) 이온을 고진공 속에서 전기장으로 가속한 뒤 렌즈로 집속시켜 시료 표면에 조사하는 기술입니다. 쉽게 말해, 눈에 보이지 않는 이온 빔을 아주 좁은 점으로 모아 재료 표면을 나노미터 수준으로 깎아내는 정밀 절삭 도구라고 이해하면 됩니다. 이..
2026. 10. 21.
