저선량기법1 TEM 전자빔 손상 (손상 메커니즘, 손상 저감, 분석 신뢰성) 선명한 이미지를 얻었다고 해서 그게 시료의 진짜 구조일까요? 그런데 같은 영역을 반복해서 관찰하다 보니 처음에는 분명히 보이던 미세구조가 조금씩 흐려지고, 대비가 달라지는 걸 경험했습니다. 초점 문제인가 싶어 다시 맞춰봐도 달라지지 않았고, 그제서야 전자빔 자체가 시료를 바꾸고 있다는 사실을 받아들이게 됐습니다.손상 메커니즘: 전자빔이 시료를 어떻게 바꾸는가일반적으로 TEM에서 가속전압만 낮추면 시료 손상이 해결된다고 알려져 있는데, 제 경험상 이건 절반만 맞는 이야기입니다. 전자빔에 의한 손상에는 크게 두 가지 메커니즘이 작동하고 있고, 어느 쪽이 우세한지는 시료 종류와 조사 조건에 따라 완전히 달라지기 때문입니다.첫 번째는 녹-온 손상(knock-on damage)입니다. 여기서 knock-on da.. 2026. 10. 23. 이전 1 다음
