계면분석1 STEM-EDS 맵핑 (측정 오차, 원소 분포, 정량 해석) STEM-EDS 원소 맵에서 밝게 나타나는 영역이 반드시 해당 원소의 농도가 높은 곳이라고 볼 수 없습니다. 제가 처음 반도체 단면 시료를 분석했을 때 이 사실을 몰랐고, 그 결과 꽤 황당한 해석을 내놓을 뻔했습니다. 원소 맵은 강력한 도구이지만, 맵이 만들어지는 과정에서 생기는 오차를 이해하지 못하면 이미지가 주는 직관에 속기 쉽습니다.측정 오차: 맵이 실제와 달라지는 이유STEM-EDS 맵에서 원소 신호가 실제 위치보다 넓게 퍼져 보이는 현상을 X선 비국재화(X-ray delocalization)라고 부릅니다. 여기서 비국재화란, 전자빔이 특정 원자 위치에 집중되더라도 발생한 X선이 인접 영역에서 검출되는 것처럼 나타나는 현상입니다. 쉽게 말해, 빔은 한 점에 맞았는데 신호는 그 주변까지 번져 나오는.. 2026. 10. 28. 이전 1 다음
